三廢處理是工業生産的重要組成部分。下面我們就一起來了解一下排氣治理和真空泵，即在真空技術中工業廢氣檢測的相關應用。

       工業廢氣包括顆粒物廢氣和氣态廢氣，包括各種硫化物、氟化物、一氧化碳、二氧化碳、煙霧等。這些物質對植物、動物、人類以及氣候都有不同的影響，因此對工業廢氣的處理是必不可少的。真空技術處理工業廢氣的典型方法包括三個方面：

     一是空氣淨化，主要由集中真空清洗系統和真空吸污檢測方法組成。與一般意義上的廢氣處理不同，前者主要用于創造清潔的生産環境，保證高質量産品的生産和生産者的健康。後者是利用真空吸塵裝置收集表面污染物，分析和測量其成分含量，進行針對性處理。

     二是煙氣脫硫，這是工業廢氣處理的一個非常典型的應用，其中真空技術主要是真空過濾和真空結晶過程。在電力和紙漿工業中，廢氣中含有大量的二氧化硫，需要通過吸收、催化轉化等方法進行處理。石灰石法、金屬氧化物法等吸收法是常用的煙氣脫硫方法。廢氣中的so2被吸收劑吸收後，下一步就是通過真空工藝流程進行真空過濾，将固液吸收漿分離，然後進行真空濃縮結晶幹燥，釋放出so2回收吸收劑。

       三是對酸性混合氣體的處理。可采用氯化、磺化、硝化等工藝的化工制藥企業在生産過程中會排放多種混合酸尾氣。這些酸性混合氣體可通過填料吸收塔、石墨降膜吸收塔等吸收，但占用空間大，投資大，回收困難。利用真空技術時，以噴射泵和稀堿液為介質，形成負壓，吸入吸收體吸收的酸性混合氣體。混合氣體和溶液充分接觸、吸收和反應，從而被回收和除去。與其它工藝相比，該方法具有能耗低、投資少等優點。